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本实用新型公开了一种半导体生产用离子清洗机，具体涉及半导体生产技术领域，包括机体，所述机体的两侧外壁上设置有多组载物件，所述机体的前表面设置有显示屏，所述机体的前表面靠近显示屏一侧设置有真空室，所述真空室的内部设置有压合件。本实用新型中利用...
该专利属于深圳市星曜微半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市星曜微半导体有限公司授权不得商用。

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