下载半导体结构及其形成方法的技术资料

文档序号:27212210

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一种半导体结构及其形成方法,其中,形成方法包括:提供衬底,所述衬底包括第一区域和第二区域;在所述衬底上形成若干鳍部;在相邻所述鳍部之间形成隔离结构;在所述衬底及所述鳍部上形成掩膜层;去除所述第一区域的所述掩膜层,形成开口;沿所述开口去除所述...
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