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本发明提出了一种制备超纳米金刚石薄膜的方法，涉及金刚石薄膜领域。一种超纳米金刚石薄膜的制备方法，其包括如下步骤：衬底处理、衬底清洗、薄膜沉积。这样的一种制备超纳米金刚石薄膜的方法，其整个方法流程简单，制备效率高，相较于传统制备方法降低了薄膜...
该专利属于曾一所有，仅供学习研究参考，未经过曾一授权不得商用。

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