下载基于差值比较法的芯片ESD二极管工艺缺陷检测方法的技术资料

文档序号:27198428

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本发明公开了一种基于差值比较法的芯片ESD二极管工艺缺陷检测方法,能够筛选出ESD二极管导通电压或击穿电压异常的芯片,解决了现有芯片性能测试方法不能将二极管导通电压或击穿电压异常芯片完全筛选出来的技术问题。本发明采用的差值法可以显著遏制芯片...
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