下载晶圆切割裂片装置的技术资料

文档序号:27177691

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及一种晶圆切割裂片装置,包括:底座;设置于底座上的载物台,具有用于承载待裂片晶圆的承载面;限位结构,设置于承载面上、用于限定待裂片晶圆的裂片位置;切割组件,包括对称设置于载物台相对的两侧的两个支架,两个支架之间设置有悬置于载物台...
该专利属于西安奕斯伟硅片技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安奕斯伟硅片技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。