下载一种源瓶温控柜的技术资料

文档序号:27155944

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本实用新型公开了一种源瓶温控柜,包括柜体、温控加热系统和管路系统,所述柜体内设置有密闭腔,源瓶、温控加热系统和管路系统设置于密闭腔内部,所述温控加热系统通过调控密闭腔内气体温度来控制源瓶温度,所述管路系统用于源瓶内镀膜介质的输送。本实用新型...
该专利属于深圳市拉普拉斯能源技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市拉普拉斯能源技术有限公司授权不得商用。

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