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本发明公开了一种用于芯片制造的防止过度蚀刻的蚀刻装置，包括浸没机构、用于放置芯片硅圆移动的移动机构、放料机构、机架，所述浸没机构设置在所述机架顶部，所述移动机构设置在所述机架前侧，所述放料机构位于所述移动机构顶部，还包括回收机构、脱水机构、...
该专利属于郑州竹蜻蜓电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过郑州竹蜻蜓电子科技有限公司授权不得商用。

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