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一种硅基背照PIN器件结构制造技术
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下载一种硅基背照PIN器件结构的技术资料
文档序号:27139145
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本发明公开一种硅基背照PIN器件结构,包括基片,基片正面边缘注入有P+离子层,基片正面沉积有外延层,外延层表面设有氧化层;外延层设有与P+离子层相对应的P阱;外延层还设有N+保护环,P+隔离区以及N
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该专利属于华东光电集成器件研究所所有,仅供学习研究参考,未经过华东光电集成器件研究所授权不得商用。
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