下载空间激光薄膜制备方法的技术资料

文档序号:27138304

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本发明属于光学薄膜技术领域,具体涉及空间激光薄膜制备方法。该方法提出一种制备空间激光薄膜的全流程技术方案,包括去除基底表面污染物和亚表面缺陷、增加抗辐照保护层,基底上镀膜,明确了各环节的技术方案和实现途径,使用本发明制备的薄膜,基底表面及亚...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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