下载一种任意波形驱动放电控制系统的技术资料

文档序号:27135513

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本发明提供一种任意波形驱动放电控制系统,包括:反应器、计算机、信号发生器、功率放大器和匹配网络。反应器用于维持等离子体放电;计算机,与反应器连接,用于产生第一波形数据,还用于采集反应器的电压,并判断反应器的电压中的各谐波电压与目标任意波电压...
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