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一种多工艺腔体共用真空泵组，包括管道、真空泵以及阀门；所述真空泵包括真空泵一和真空泵二；一个真空泵一对应至少一个工艺腔体；一个真空泵二对应至少一个工艺腔体；所述管道设置于工艺腔体与真空泵之间；所述阀门设置于管道上；本实用新型通过设置共用的真...
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