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本实用新型属于电子束蒸发法技术领域，尤其是一种电子束蒸发台加热器装置，包括电子束蒸发台，所述电子束蒸发台的一侧开设有安装槽，且安装槽内卡装有安装板，所述安装板的两侧均固定安装有固定板，所述固定板上开设有对称设置的两个固定槽，所述电子束蒸发台...
该专利属于无锡芯谱半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡芯谱半导体科技有限公司授权不得商用。

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