一种电子束蒸发台加热器装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于电子束蒸发法技术领域，尤其是一种电子束蒸发台加热器装置，包括电子束蒸发台，所述电子束蒸发台的一侧开设有安装槽，且安装槽内卡装有安装板，所述安装板的两侧均固定安装有固定板，所述固定板上开设有对称设置的两个固定槽，所述电子束蒸发台的一侧固定安装有两个对称设置的固定座，所述固定板的一侧贴合有对称设置的两个转动块，且转动块和相对应的固定槽相适配，所述转动块的两侧均固定安装有条形板；本实用新型专利技术操作方便，只需要简单的几个操作步骤便可以将电子加速器拆下，大大方便了维修人员对电子加速器的维修，提高了电子加速器拆卸效率，简化了电子加速器的拆卸步骤，具有较强的实用性。具有较强的实用性。具有较强的实用性。

【技术实现步骤摘要】
一种电子束蒸发台加热器装置


[0001]本技术涉及电子束蒸发法
，尤其涉及一种电子束蒸发台加热器装置。

技术介绍

[0002]电子束蒸发法是真空蒸发镀膜的一种，是在真空条件下利用电子束进行直接加热蒸发材料，使蒸发材料气化并向基板输运，在基底上凝结形成薄膜的方法。在电子束加热装置中，被加热的物质放置于水冷的坩埚中，可避免蒸发材料与坩埚壁发生反应影响薄膜的质量，因此，电子束蒸发沉积法可以制备高纯薄膜，同时在同一蒸发沉积装置中可以安置多个坩埚，实现同时或分别蒸发，沉积多种不同的物质。通过电子束蒸发，任何材料都可以被蒸发，不同材料需要采用不同类型的增竭以获得所要达到的蒸发率。
[0003]目前的电子束蒸发台在加热装置主要依靠电子加速器产生电子束直接加热蒸发材料，从而达到了加热的目的，而目前的电子加速器在使用的过程中，常常会出现机械故障，而人工对其进行拆卸时，操作较为复杂，所以我们提出了一种电子束蒸发台加热器装置，用以解决上述所提出的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种电子束本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子束蒸发台加热器装置，包括电子束蒸发台(1)，其特征在于，所述电子束蒸发台(1)的一侧开设有安装槽(2)，且安装槽(2)内卡装有安装板(3)，所述安装板(3)的两侧均固定安装有固定板(4)，所述固定板(4)上开设有对称设置的两个固定槽(5)，所述电子束蒸发台(1)的一侧固定安装有两个对称设置的固定座(9)，所述固定板(4)的一侧贴合有对称设置的两个转动块(6)，且转动块(6)和相对应的固定槽(5)相适配，所述转动块(6)的两侧均固定安装有条形板(7)，且条形板(7)的一侧和固定板(4)的一侧相贴合，所述转动块(6)的一侧固定安装有螺杆(8)，所述转动块(6)的一侧开设有螺纹槽(10)，所述螺杆(8)的一端贯穿固定槽(5)并延伸至相对应的螺纹槽(10)内且和螺纹槽(10)螺纹连接，所述固定座(9)的一侧固定安装有弹性组件，所述螺杆(8)贯穿弹性组件，所述弹性组件的一侧和固定板(4)的一侧相贴合。2.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台加热器装置，其特征在于，所述安装板(3)的外侧套设有密封垫。3.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台加热器装置，其特征在于，所述弹性组件包括固定安装在固定座(9)一侧的复位弹簧(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：马溢华，
申请(专利权)人：无锡芯谱半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：