下载弱光光谱检测芯片的技术资料

文档序号:27082687

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本实用新型涉及光谱设备技术领域,尤其涉及一种弱光光谱检测芯片。该弱光光谱检测芯片包括光调制层和光电探测层,光调制层包括底板和至少一个调制单元,底板平置并连接于光电探测层上,每个调制单元内分别设有若干个穿于底板内的调制孔;光电探测层包括若干组...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。

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