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一种开环控制的无接触支撑平台，包括：表面，通过流动穿过多个嘴件的流体的流体承载来支撑工件；供给系统，连接到表面并且构造为通过施加压力以使流体从多个嘴件的子集中流出，从而保持流体承载；以及控制器，使用开环回路控制供给系统中的流体流，以当工件在...
该专利属于科福罗有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过科福罗有限公司授权不得商用。

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