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一种搬运设备，用以搬运一大型基板。搬运设备包含一载具车、一承载平台以及连接载具车与承载平台的支撑臂。承载平台具有多个真空吸附孔，以吸附大型基板于承载平台。其中搬运大型基板时，承载平台较佳地是与地面近乎垂直。其中支撑臂包含配置于载具车的一升降...
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