下载一种非接触式晶片支撑装置的技术资料

文档序号:27008471

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本发明公开了一种非接触式晶片支撑装置,包括第二构件,所述第二构件为中空的圆锥形结构,且所述第二构件的上表面直径大于下表面直径,所述第二构件内容纳有第一构件,所述第一构件为圆锥形结构,且所述第一构件的上表面直径大于下表面直径,所述第一构件的外...
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