下载吸附机构的技术资料

文档序号:26999459

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实现一种吸附机构,其能够防止吸盘的变形,并且使可靠的吸附力发挥作用,从而极容易地进行吸盘的更换作业。本发明的吸附机构(2)包括:具有与真空源(14)连通的空间部(20)的主体部(22);固定于主体部(22),并且构成空间部(20)的外周部的...
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