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本发明公开了一种硅环喷砂装置,旨在解决硅环表面破碎层去除不便,劳动强度大,工作效率低的不足。该发明包括喷砂箱、注砂压力罐、负压回砂罐,喷砂箱内安装喷砂组件、用于装载硅环的旋转台,喷砂组件包括送砂管、喷砂嘴,喷砂嘴朝向旋转台设置,送砂管连接到...该专利属于杭州盾源聚芯半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州盾源聚芯半导体科技有限公司授权不得商用。
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