下载一种长晶炉工艺气混气气道的技术资料

文档序号:26997982

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本发明公开了一种长晶炉工艺气混气气道,包括座体、位于座体内部的气环、至少两个进气道、覆盖在气环上的封板;所述气环包括圆柱形的侧壁,位于侧壁上端的一圈上圆环、位于侧壁下端的一圈下圆环;侧壁、上圆环下表面、下圆环上表面与内壁之间围成环向气道;所...
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