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本实用新型公开了一种晶圆侦测设备，包括：晶圆承载台；承载盘，设置在所述晶圆承载台上；机械悬臂，设置在所述承载盘上，用以承接晶圆；传感支架，环绕设置在所述承载盘的周围；轨道，设置在所述传感支架上；传感单元，与所述轨道滑动连接；其中，所述传感单...
该专利属于合肥晶合集成电路股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥晶合集成电路股份有限公司授权不得商用。

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