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本发明公开了一种气密性芯片级微声器件阵列式封装装置,包括夹具底座、定位框及夹具上板,夹具底座上端面设有与定位框外沿形状相匹配的定位框安装槽,定位框上端面设有网格状的封盖定位槽,每个封盖定位槽对应一个封盖,夹具底座上端面还设有定位销,夹具上板...该专利属于中国电子科技集团公司第二十六研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第二十六研究所授权不得商用。
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本发明公开了一种气密性芯片级微声器件阵列式封装装置,包括夹具底座、定位框及夹具上板,夹具底座上端面设有与定位框外沿形状相匹配的定位框安装槽,定位框上端面设有网格状的封盖定位槽,每个封盖定位槽对应一个封盖,夹具底座上端面还设有定位销,夹具上板...