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本发明涉及具有收纳基板的基板支撑架可处理基板的基板处理装置，可包括：盘，形成圆盘形状，以支撑至少一个所述基板；至少一个装载槽部，以与所述基板相对应的形状从所述盘的上面凹陷形成，以至少安装所述基板的边框部分；空余空间形成部，为限制至少支撑所述...
该专利属于圆益IPS股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过圆益IPS股份有限公司授权不得商用。

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