下载光栅尺传感器以及检测方法的技术资料

文档序号:26967519

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本申请实施例提供一种光栅尺传感器以及检测方法,光栅尺传感器具有:传感器本体和耐磨件,传感器本体形成有沟槽,沟槽具有底面和与该底面垂直并且对置配置的第一检出面和第二检出面,耐磨件覆盖沟槽的与底面对置的开口以及与底面相邻的开口的一部分,光栅尺传...
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