下载光学检测装置的技术资料

文档序号:26967515

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本发明提供一种光学检测装置,包括定位模块以及检测模块,且适于检测工件。工件包括顶面及第一工件侧面。定位模块包括透光载台、光源模块以及第一定位棱镜。光源模块配置于透光载台下方。第一定位棱镜配置于透光载台上的第一载台侧面。第一定位棱镜包括第一垂...
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