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光学检测装置制造方法及图纸
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文档序号:26967515
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本发明提供一种光学检测装置,包括定位模块以及检测模块,且适于检测工件。工件包括顶面及第一工件侧面。定位模块包括透光载台、光源模块以及第一定位棱镜。光源模块配置于透光载台下方。第一定位棱镜配置于透光载台上的第一载台侧面。第一定位棱镜包括第一垂...
该专利属于和硕联合科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过和硕联合科技股份有限公司授权不得商用。
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