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本发明公开了一种靶材制备方法、装置和靶材，涉及靶材制备领域，能够制备出中间薄两端厚的骨性靶材，从而解决靶材有效利用率低的问题。所述靶材制备方法，包括：采用热喷涂方式，在旋转的背衬管上喷涂靶材层，所述喷枪在所述背衬管的端部区域的喷涂量大于所述...
该专利属于领凡新能源科技(北京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过领凡新能源科技(北京)有限公司授权不得商用。

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