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本发明公开了一种耦合共振型声表面波微流控芯片及其制作方法，属于微流控芯片技术领域。本发明的芯片包括压电基底、叉指换能器和腔体顶盖，压电基底与腔体顶盖之间设有侧壁，压电基底、腔体顶盖和侧壁围合形成流体腔道。本发明的方法为：根据压电基底选取腔体...
该专利属于南京大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京大学授权不得商用。

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