温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本公开提供了一种抗辐照碳纳米管晶体管,包括:抗辐照衬底;碳纳米管粘附层,碳纳米管粘附层形成在抗辐照衬底上;碳纳米管层,碳纳米管层形成在碳纳米管粘附层上,碳纳米管层作为沟道;以及栅介质,栅介质为至少在碳纳米管层的一部分上形成的聚合物离子液体凝...该专利属于北京元芯碳基集成电路研究院;北京大学;北京华碳元芯电子科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京元芯碳基集成电路研究院;北京大学;北京华碳元芯电子科技有限责任公司授权不得商用。