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本实用新型涉及晶圆加工附属装置的技术领域，特别是涉及晶圆全自动贴膜机，实现全自动化贴膜，提高贴膜效率和质量；包括机架，机架左侧设置有晶圆定位机构和晶圆托举机构，晶圆定位机构处设置有用于放置晶圆的晶圆载具，晶圆托举机构处于晶圆定位机构的前方，...
该专利属于开异智能技术(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过开异智能技术(上海)有限公司授权不得商用。

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