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本实用新型公开了一种晶圆检视装置，用以检视晶圆，其借由非接触式检测器投射光至放置于载台上的该晶圆，并借由该非接触式检测器与该晶圆的相对运动，以利于该非接触式检测器对该晶圆进行检视。...
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