下载一种提高紫外膜层抗激光损伤功能的非线性晶体加工系统的技术资料

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本实用新型公开了一种提高紫外膜层抗激光损伤功能的非线性晶体加工系统,涉及光学薄膜加工领域,包括用于安装抛光后待镀膜晶体的镀膜机加工盘、紫外激光处理、射频离子源,射频离子源设置在真空室内。本实用新型克服了现有技术中由于基材种类不一,性质各异,...
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