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一种多工位真空退火机，包括机架、设于机架上的工作台、多个设于工作台上的抽真空室、与多个抽真空室分别相连通的抽真空机构、对其中一个或多个抽真空室进行加热的加热机构、驱动抽真空室与加热机构相对移动的驱动机构。抽真空室包括设于工作台上的底座、能够...
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