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制造光子晶体的方法技术
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文档序号:2693803
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一种制造光子晶体的方法,包括(a)提供基本上无机的光反应性组合物;(b)使用包括至少三个光束的多光束干涉技术,使至少部分光反应性组合物经受适当波长,空间分布和强度的射线辐射,以形成光反应性组合物的反应和未反应部分的二维或三维周期图案;和(c...
该专利属于3M创新有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过3M创新有限公司授权不得商用。
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