制造光子晶体的方法技术

一种制造光子晶体的方法，包括（ａ）提供基本上无机的光反应性组合物；（ｂ）使用包括至少三个光束的多光束干涉技术，使至少部分光反应性组合物经受适当波长，空间分布和强度的射线辐射，以形成光反应性组合物的反应和未反应部分的二维或三维周期图案；和（ｃ）除去光反应性组合物的未反应部分或反应部分，形成填隙空位空间。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种方法，包括（ａ）提供基本上无机的光反应性组合物；（ｂ）使用包括至少三个光束的多光束干涉技术，使至少部分所述光反应性组合物经受适当波长，空间分布和强度的射线的辐射，以形成所述光反应性组合物的反应和未反应部分的二维或三维周期 图案；和（ｃ）除去所述光反应性组合物的所述未反应部分或所述反应部分，形成填隙空位空间。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：马克T安德森，凯瑟琳A莱瑟达莱，斯克特D汤姆普森，
申请(专利权)人：三M创新有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]