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制备光学波导的方法技术
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文档序号:2693705
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本发明提供用于制备光学波导的方法,其包括:在底包层上布置至少一个用于形成光程偏转面的元件;在底包层上形成感光树脂层,从而至少部分地覆盖用于形成光程偏转面的元件;使感光树脂层曝光,然后显影,由此形成至少一层芯层;以及在底包层上形成外包层,从而...
该专利属于日东电工株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日东电工株式会社授权不得商用。
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