【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及。更具体地,本专利技术涉及用于偏转光程的光学波导的制备方法。
技术介绍
在光学器件相互光学连接的光学波导中,用于光程偏转的光学波导(optical waveguide for optical-path deflection)用作电光混合电路板等中的光程偏转装置。已经提出了制备所述光程偏转装置的方法,其包括例如以下方法,其中使用具有带斜面的尖端的刀片进行切割,同时将刀片垂直施加在光学波导上,由此在光学波导中形成用作微镜(micromirror)的倾斜端面(参见例如专利文献1)。专利文献1JP-A-10-300961但是,在专利文献1所述的方法中,沿与光程长度方向垂直的方向直线地形成用作相互平行布置的每个光程的微镜的倾斜端面,因为使用具有带斜面的尖端的刀片切割是在与光学波导垂直地施加刀片同时进行的。也就是说,在每个光程中,在光程长度方向上的相同位置上形成用于光程偏转的微镜。因此常规方法具有以下缺点它不能用于根据各光程,在光程长度方向上的不同位置处形成微镜。
技术实现思路
本专利技术的一个目的是提供,通过该方法能够根据每个光程,在光程长度方向上的任何位置处 ...
【技术保护点】
制备光学波导的方法,其包括:在底包层上布置至少一个用于形成光程偏转面的元件;在底包层上形成感光树脂层,从而至少部分地覆盖所述用于形成光程偏转面的元件;使感光树脂层曝光,然后显影,由此形成至少一层芯层;以及在底 包层上形成外包层,从而覆盖所述至少一层芯层。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:内藤龙介,薄井英之,望月周,
申请(专利权)人:日东电工株式会社,
类型:发明
国别省市:JP[日本]
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