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微流控光开关阵列的工艺制作方法涉及一种新颖的基于微流控技术，用电控制信号进行操作的光开关阵列结构的集成化制作方法，该方法采用机械加工、制作ＰＤＭＳ微流控芯片、镀膜、封合来实现包含“光波导层（７）、底导电层（１１）、带导电膜块的绝缘层（５）和...
该专利属于南京邮电大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京邮电大学授权不得商用。

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