下载光学机构水平调整方法及其装置的技术资料

文档序号:2693141

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本发明涉及一种光学机构水平调整方法及其装置,其提供包括高度测量装置、运算控制单元、物件承载装置以及待测物件所构成的光学机构水平调整装置,以进行该待测物件在各轴倾斜角的表面形貌测量,并计算或拟合该待测物件在不同姿态下的平面方程式,再透过几何关...
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