温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种光波干涉测量装置，由透射／反射分离面（１３ａ）分成两部分的来自光源（１１）的光束，通过分别对应的球面基准透镜（１５）、（２５），以担持与被验非球面透镜（１７）和参照非球面透镜（２７）的表面形状对应的波阵面信息的状态再次被合波，...
该专利属于富士能株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过富士能株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。