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本实用新型提供了一种用于圆形平面薄片加工的负压吸具，包括夹具底座，还包括圆形凹槽、螺纹压盖和密封圈；所述夹具底座的工作台上设置圆形凹槽，所述圆形凹槽底部可放置圆形薄片，所述圆形薄片和圆形凹槽尺寸相匹配；所述螺纹压盖和夹具底座的工作台外侧壁相...
该专利属于中国工程物理研究院机械制造工艺研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国工程物理研究院机械制造工艺研究所授权不得商用。

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