下载一种节能型半导体晶圆清洗机的技术资料

文档序号:26900979

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本实用新型公开了一种节能型半导体晶圆清洗机,包括壳体,所述壳体的下方设置有清洗壳,所述清洗壳的一侧且位于所述壳体的下方设置有机壳;其中,所述壳体的底端开设有安装腔,所述安装腔的中间位置设置有凸起块,所述安装腔的内部设置有传动链,所述传动链的...
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