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本发明的溅射装置具有：板状的调节器，设置于靶与基板之间，且具有与磁路相对应的开口，并遮盖不与所述磁路相对应的部分。所述调节器至少遮盖所述基板的面积的一半以上的面积。所述开口的形状具有大致扇形轮廓。从所述靶的旋转轴线方向观察，所述开口被配置为...
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