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一种微波载流子直接调制的垂直腔面发射激光器制造技术
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文档序号:26894024
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一种微波载流子直接调制的垂直腔面发射激光器,属于激光器技术领域。自下而上层叠,层依次包括衬底(1)、缓冲层(2)、下分布布拉格反射镜(3)、下相位匹配层(4)、亚集电极层(5)、集电极层(6)、基极及量子阱有源区层(7)、发射极层(8)、上...
该专利属于北京工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京工业大学授权不得商用。
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