下载用于图像传感器像素单元中有源区隔离的方法的技术资料

文档序号:26893514

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本发明提供一种用于图像传感器像素单元中有源区隔离的方法,通过在图像传感器像素单元中需隔离的有源区之间设置有栅极结构以实现开关功能,从而实现所述有源区的电学隔离,可以避免由于反掺杂而引起的面积损失,并且降低击穿风险,避免了增加Si和其氧化物的...
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