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本发明提供一种双向ESD保护器件、结构及制备方法,ESD保护结构包括至少一个ESD保护结构单元,ESD保护结构单元包括基底、N阱、第一P阱、第二P阱、第一P注入区、第二P注入区、第三P注入区、第一N注入区、第二N注入区、第一导电栅、第二导电...该专利属于微龛(广州)半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过微龛(广州)半导体有限公司授权不得商用。
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