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本发明公开了一种半导体元件，包括：包括多个有源区的半导体衬底，第一凹槽形成在有源区中并延伸到两侧的浅沟槽隔离中；各位线包括由底部导电材料层和顶部导电材料层形成的叠加结构；在第一凹槽中形成有由底部导电材料层组成的第一接触插塞，第一接触插塞的两...
该专利属于福建省晋华集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建省晋华集成电路有限公司授权不得商用。

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