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本申请实施例提供了扩散工艺中的通源操作方法、工艺设备，该方法包括：在满足源压补偿条件时，获取源瓶中的源液的当前液位；基于源液的当前液位和预设对应关系，确定本次执行通源操作所需的源压，其中，预设对应关系为在固定的通源关联参数下，使得每次通源操...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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