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利用气体团簇离子束处理中进行调节工件的表面轮廓的方法，获取与工件表面的表面轮廓有关的计量数据；使用所述计量数据计算所述工件的校正数据；所述校正数据从与所述工件上的表面的表面轮廓有关的计量数据计算出的数据；使用气体将校正数据应用于工件簇离子束...
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