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本发明公开了一种抑制电磁干扰及漏波的结构、射频电源及等离子刻蚀设备，通过在射频电源壳体的所有内壁上采用金属化的蜂窝状网络凹腔阵列，当干扰信号入射到蜂窝凹腔结构时，会对干扰信号功率产生衰减，并会产生多重反射及散射，从而抑制射频电源对外部的电磁...
该专利属于季华实验室所有，仅供学习研究参考，未经过季华实验室授权不得商用。

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