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一种通过带电粒子束扫描工件的方法，包括以下步骤：将工件安装在通过带电粒子束扫描工件的扫描系统上；通过所述带电粒子束沿始于和结束于所述工件上基本上相同位置的圆形路径对所述工件执行第一扫描运动；通过带电粒子束沿从工件上不同位置开始和结束的非圆路...
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